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Pic秒超声波技术的优点,用于高级RF计量


本文来自中国半导体技术国际会议(CSTIC)。PICOSECOND超声波(脉冲技术)已被广泛采用作为全球半导体FAB的金属膜厚度计量的记录工具。它提供独特的优势,例如快速,非接触,非破坏性技术,并且具有同时多层的能力......“ 阅读更多

使用Pic秒超声波控制TC SAW滤波器频率


在ASMC 2019 Pulse™技术的海报会话中提出是一种基于原理的声学计量技术,其能够测量半导体制造中的各种感兴趣的参数,例如多层金属厚度,介电膜的声速和反射率。在本文中,我们展示了脉冲技术在TC锯中的应用......“ 阅读更多

使用PicoSecond超声计量使用厚度和声速能力监测3D NAND中的关键过程步骤


基于非晶碳(A-C)的硬质面罩提供优异的蚀刻选择性,化学惰性,是机械强的,并且已被用于蚀刻常规光致抗蚀剂不能承受的深度高纵横比特征。Pic秒超声技术(脉冲技术)已广泛用于薄金属薄膜计量,因为其独特的优势,如快速,非......“ 阅读更多

具有PICOSECOND超声计量的高级RF全部计量解决方案


皮秒超声技术(PULSE Technology)以其快速、非接触、无损、可同时进行多层测量等独特优点,在金属薄膜测量中得到了广泛的应用。同时测量透明和半透明薄膜的速度和厚度不仅提供了监测的潜力。“ 阅读更多

自适应拍摄技术解决先进FOPLP严峻的光刻挑战


扇出晶圆级包装(Fowlp)是一种流行的新包装技术,允许用户在较小的IC尺寸中增加I / O,而不是扇形晶片级包装。市场驱动程序如5G,IOT,Mobile和AI都将使用这项技术。根据YoleDéveloppement的分析,扇出包装市场规模将增加到2014年的2.44亿美元的2022美元,......“ 阅读更多