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用皮秒超声技术控制TC声表面波滤波器频率

TC-SAW过程中使用的声学计量技术的演示。

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在2019年ASMC海报会议上展示

Pulse™技术是一种基于原理的声学计量技术,其能够测量半导体制造中的各种感兴趣的参数,例如多层金属厚度,介电膜的声速和反射率。在本文中,我们展示了脉冲技术在TC-SAW过程中的应用;控制TC-SAW滤波器频率不仅取决于IDT线间距,而且还取决于其周围IDT的介电层的厚度和声速。此外,我们还表明该技术可用于检测UBM上的不需要的残余钝化层,以捕获早期阶段的纠正措施的过程偏移。

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