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眼睛对零缺陷:缺陷检测和表征计量

三种方法在串联中工作,以改善材料表征。

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Darin Collins和Jessica albright

计量学是测量、表征和分析材料的科学。在计量学中,有几种技术用于在非常小的尺度上检测材料缺陷——为了追求零缺陷,必须达到万亿分之一或更低的精度。我们大致将表征方法分为三大类:晶圆上、瓶中和原位表征。

在晶片

使用尖端表面分析计量工具,我们可以随时检查我们的产品。标准方法是涂层后缺陷分析,涉及涂覆硅晶片并寻找涂层中的任何缺陷,下降到20nm。这些是按类型的大小,计数,成像和分类,以创建缺陷基线。我们还强调涂层和固化过程,以设计出潜在的失效模式。此外,我们执行蚀刻后分析,在那里我们用等离子体蚀刻涂层,看看是否留下了任何东西。结合,这些技术允许我们通过制造过程,产品配方或甚至产品化学来设计出缺陷的原因。

在瓶子里

在称为指纹识别的过程中,通过杂质标记表征材料,使我们能够将化学品分析在我们的分析实验室中。这使我们可以检测原料,中间材料和最终产品中的杂质。

原位

原位或“位置”颗粒检测涉及在我们的高分辨率扫描电子显微镜中观察在实验过滤膜上留下的颗粒。该过程涉及基于它们的形态(尺寸和形状)以及通过离散的元素分析来识别粒子。这些因素有助于寻找颗粒缺陷和金属杂质的来源,然后我们在我们的零缺陷计划下消除。

减少缺陷路线图

这个过程在这里没有停止。我们不断改进并寻求创新的方法来检测和表征缺陷。我们目前正在探索新技术,以提高我们的能力和理解,以便将材料置于新措施,每万亿(PPT)的零件以及每夸脱(PPQ)的零件(PPQ)。

度量和我们的表征方法是我们需要的工具来创建一个精确的过程,在万亿分之一的规模上看到缺陷是必要的,并允许我们保持零缺陷的承诺。访问我们的网站了解更多关于零缺陷程序

Jessica Albright是布鲁尔科学公司的内容营销者。



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